更新時間:2025-06-25
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廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
型號:SP1
品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 價格區(qū)間 | 2千-5千 |
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科集成的皮拉尼真空計
日本ULVAC愛發(fā)科集成的皮拉尼真空計
特征
節(jié)省成本和空間的傳感器類型
易于更換傳感器頭
具有優(yōu)異耐腐蝕性的鉑絲
您一直在使用的傳感器頭(WP-01、02、03、16)可以按原樣使用。
設(shè)定點輸出 2 點
測量值輸出 DC 0 至 5V(非線性)
電源電壓 DC24V
真空設(shè)備(如半導體、光學和電子零件制造)的低真空范圍內(nèi)的過程控制。
真空爐等工業(yè)設(shè)備的低真空范圍內(nèi)的過程控制
低壓范圍內(nèi)的工藝控制,適用于具有多個工藝腔室的真空系統(tǒng),例如在線濺射和單晶片加工設(shè)備。
類型 | 傳感器單元 |
型 | 第 1 頁 |
兼容的傳感器頭 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
準確性 | ±15 %(51 Pa ~760 Pa) |
±30 %(10 帕 ~1000 帕) | |
±50 %(0.4 帕 ~3000 帕) | |
工作溫度范圍 | 10 ~ 40°C |
測量值輸出 | 非線性輸出:0 至 5VDC(最大 10V) |
設(shè)定點 1/2 壓力設(shè)定調(diào)整監(jiān)視器 | 非線性輸出:0 至 5VDC(最大 10V) |
控制輸出信號 | 集電極開路輸出,負邏輯 |
ERROR 信號 | |
設(shè)定點 1/2 | |
LED顯示屏 | 電源、錯誤、設(shè)定點 1、設(shè)定點 2 |
電源電壓 | DC24V±2V, 90mA(最大) |
輸入/輸出連接器 | D-sub-15P(M2.6 螺絲) |
重量 | 190 克/0.41 磅(不包括傳感器頭) |
標準配件 | 輸入/輸出連接器 1 個 |
快速手冊 1 個 |
IO 和模擬 GND 未與電源 GND 隔離。